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（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X

本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。

中共辽宁省委宣传部编；滕卫平主编2012 年出版262 页ISBN：7205074425

墨羽著2018 年出版219 页ISBN：

游睿著2017 年出版210 页ISBN：

周文志编著1999 年出版426 页ISBN：7222029052

范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305

本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。

文韬编2018 年出版288 页ISBN：7561862674

郑峰著2019 年出版200 页ISBN：7563963362

李云峰著2017 年出版0 页ISBN：

柳伟卫著2018 年出版0 页ISBN：