2014 年出版416 页ISBN：9787030389961
本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...
2013 年出版247 页ISBN：9787302334859
本书是由十几位知名教授根据他们在微机电系统技术及其在航天领域应用方面多年的研究成果总结共同完成的专著。其内容主要涵盖了微机电系统技术本身、微机械结构、器件（部件）和系统在航天领域应用中需要特别考...
2014 年出版241 页ISBN：9787030399748
微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...
2013 年出版213 页ISBN：9787560339481
Bharat Bhushan博士在1971年获得麻省理工大学机械工程学硕士学位；分别于1973年1976年和1980年获得博尔德科罗拉多大学的力学硕士、机械工程学博士和纽约特洛伊伦斯勒理工学院工商管理硕士；在1990年获得挪威特...
2006 年出版371 页ISBN：7118041211
本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。...
2010 年出版278 页ISBN：9787030292209
本书主要内容包括：微机电系统概述，微机电系统制造技术，微机电系统设计方法，基于IP库的MEMS设计方法，微机电系统系统级建模，微机电系统器件级建模、仿真及可视化，微机电系统工艺级建模、仿真及可视化。...
2017 年出版394 页ISBN：9787111557333
相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中...
2015 年出版257 页ISBN：9787111491507
本套书内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容。具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计...
2014 年出版135 页ISBN：9787118096903
在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了...
2012 年出版384 页ISBN：9787030343161
当前MEMS制造工艺技术较丰富成熟，出版的教材专著较多，然而MEMS的设计理论发展远滞后于制造技术。动态MEMS设计理论成为本专业领域技术人员和初级研究者所迫切想了解的学科前沿技术。本专著以动态MEMS设计理论...
2012 年出版158 页ISBN：9787302300175
本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳...
