1989 年出版358 页ISBN:7111007891
本书主要内容:电子束精微加工、电子束焊接、镀膜、熔和热处理,离子束刻蚀、溅射镀膜、离子镀、离子注入等。
2004 年出版284 页ISBN:7502433899
本书内容包括:电子束光学与技术基础,离子束物理基础,强流轴向、偏转、空心阴极电子枪,离子束应用技术,S枪离子溅射源设计。
2006 年出版344 页ISBN:7563916903
本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。本...