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纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、...
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