可关断可控硅试制小结PDF电子书下载

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目录 3

一　原理与结构 3

1．可关断可控硅开通机构 3

2．关断机构 7

3．主要参数及控制极伏安特性 11

4．结构 12

二　工艺 14

1．工艺流程 14

2．扩散 18

3．光刻 35

4．真空蒸铝 43

5．烧结 45

三　特性分析 49

1．正向耐压 49

2．反向耐压 51

3．高温特性 52

4．正向压降 54

5．影响关断能力的因素 55

四 测量 60

1．耐压测试 60

2．低频测试 61

3．动态测试 66

4．维持电流的测量 70

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