书籍 “水-氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅的封面

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6 点

出版社

北京：机械工业出版社

出版时间

1971

ISBN

15033·（内）414

标注页数

12 页

PDF页数

15 页

标签

多晶喷射器多晶硅喷射制冷

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图书目录

“水—氨”喷射器制冷用于硅烷法制造多晶硅湘潭纺织印染厂 1

一、硅烷法生产工艺简介 3

二、“水—氨”喷射器制冷 3

三、存在问题与几点看法 9

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