书籍 中国核科技报告 CJ-500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制的封面

中国核科技报告 CJ-500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制PDF电子书下载

曾洪银着

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1999

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图书目录

CJ—500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制&曾洪银(核工业西南物理研究院,乐山,614007) 1

摘要 1

引言 3

1镀膜机结构及特点 3

2主要技术参数 6

3运行结果与讨论 7

参考文献 8

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