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曾洪银着
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1999
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12 页
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磁控溅射 磁控 镀膜 两用 研制
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CJ—500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制&曾洪银(核工业西南物理研究院,乐山,614007) 1
摘要 1
引言 3
1镀膜机结构及特点 3
2主要技术参数 6
3运行结果与讨论 7
参考文献 8