超精密加工基础技术PDF电子书下载

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目录 1

1、超精密加工机床的结构 1

2、超精密加工机床的驱动方式 17

3、使用压电执行元件的微量定位 28

4、超精密加工用的静压轴承（主轴） 48

5、超精密加工用的导轨机构 65

6、超精密切削加工的金刚石刀具 82

7、超精密加工机床的环境温度的控制 98

8、超精密加工环境的设计—基础部分 111

9、超精密加工环境的设计—应用部分 135

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