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第1章 X射线光电子能谱理论篇 1

1.1 X射线光电子能谱基本原理 2

1.2 XPS全谱信息与精细谱化学态识别 4

1.2.1 XPS全谱信息 4

1.2.2 XPS精细谱化学态识别 5

1.2.3 结合能位移与化学态 5

1.3 XPS系统硬件构成 7

1.4 XPS主要功能 12

1.5 XPS主要技术特点 13

1.5.1 各种分析技术的分辨率和灵敏度 13

1.5.2 几种表面分析技术的对比 14

1.5.3 XPS分析技术探测信息深度 15

1.6 XPS的主要应用 17

1.7 XPS样品制备与要求 18

1.7.1 XPS样品准备与包装 19

1.7.2 XPS样品托的选择 19

1.7.3 XPS样品制备与固定 19

1.7.4 样品传送管保护进样 21

第2章 X射线光电子能谱数据分析基础篇 23

2.1 XPS的主要数据形式 24

2.1.1 标准的XPS图谱 24

2.1.2 XPS的半定量分析 24

2.1.3 微区分析（多点分析和微区成像） 26

2.1.4 微区化学态成像 26

2.1.5 深度剖析 28

2.2 认识谱图和谱峰识别 37

2.2.1 谱峰标注 38

2.2.2 光电子谱峰中的非弹性背底 39

2.2.3 自旋-轨道分裂峰 39

2.2.4 不同元素的光电子与电离截面的关系 40

2.2.5 震激峰／震离峰 41

2.2.6 多重分裂峰 42

2.2.7 能量损失谱峰 43

2.2.8 XPS图谱中的俄歇激发 45

2.2.9 价带谱 49

2.2.10 X射线卫星峰和“鬼峰” 50

2.3 XPS图谱的定性和半定量分析 50

2.3.1 典型XPS图谱数据 50

2.3.2 XPS全谱和精细谱的意义 51

2.3.3 全谱定性和定量分析 53

2.3.4 精细谱定性和定量分析 55

2.3.5 XPS半定量分析注意事项 57

2.4 XPS数据处理（精细谱分峰拟合）通用原则 58

2.4.1 XPS谱峰荷电校正方法 59

2.4.2 XPS谱峰平滑 61

2.4.3 XPS谱峰背底扣除 62

2.4.4 XPS谱峰拟合数学函数模式选择 64

2.4.5 XPS单峰拟合 67

2.4.6 双峰中自旋-轨道分裂峰的分析方法 68

2.4.7 重合谱峰的拟合方法 71

2.4.8 多重分裂谱峰的分峰方法 73

2.4.9 俄歇图谱和俄歇参数判断化学态 76

2.4.10 常见XPS数据分析错误案例 77

2.4.11 XPS数据分析流程总结 80

2.5 数据库和网站资源介绍 81

2.6 XPS相关标准和规范 83

第3章 X射线光电子能谱数据分析软件篇 87

3.1 数据分析软件简介 89

3.2 不同数据文件格式 90

3.3 MultiPak软件基本介绍 91

3.3.1 MultiPak软件界面介绍 91

3.3.2 数据文件格式类型 92

3.4 MultiPak数据分析处理流程和操作步骤 94

3.4.1 定性分析 94

3.4.2 定量分析 98

3.4.3 化学态分析 107

3.4.4 深度剖析 120

3.4.5 变角分析 136

3.4.6 图像（Mapping）分析 139

3.4.7 线扫描分析 146

3.4.8 报告制作 146

3.5 MultiPak实操案例 152

3.5.1 常规表面分析案例 152

3.5.2 深度剖析实操案例 159

第4章 X射线光电子能谱数据分析实战篇 167

4.1 锂（Li） 168

4.2 铍（Be） 173

4.3 硼（B） 176

4.4 碳（C） 179

4.5 氮（N） 185

4.6 氧（O） 191

4.7 氟（F） 196

4.8 钠（Na） 199

4.9 镁（Mg） 204

4.10 铝（Al） 206

4.11 硅（Si） 211

4.12 磷（P） 213

4.13 硫（S） 217

4.14 氯（Cl） 226

4.15 氩（Ar） 231

4.16 钾（K） 233

4.17 钙（Ca） 235

4.18 钪（Sc） 239

4.19 钛（Ti） 241

4.20 钒（V） 248

4.21 铬（Cr） 254

4.22 锰（Mn） 260

4.23 铁（Fe） 268

4.24 钴（Co） 274

4.25 镍（Ni） 284

4.26 铜（Cu） 292

4.27 锌（Zn） 299

4.28 镓（Ga） 303

4.29 锗（Ge） 307

4.30 砷（As） 312

4.31 硒（Se） 317

4.32 溴（Br） 320

4.33 铷（Rb） 322

4.34 锶（Sr） 324

4.35 钇（Y） 326

4.36 锆（Zr） 333

4.37 铌（Nb） 336

4.38 钼（Mo） 340

4.39 钌（Ru） 345

4.40 铑（Rh） 353

4.41 钯（Pd） 356

4.42 银（Ag） 360

4.43 镉（Cd） 366

4.44 铟（In） 374

4.45 锡（Sn） 381

4.46 锑（Sb） 387

4.47 碲（Te） 390

4.48 碘（I） 397

4.49 铯（Cs） 402

4.50 钡（Ba） 404

4.51 镧（La） 407

4.52 铈（Ce） 411

4.53 钕（Nd） 415

4.54 铕（Eu） 416

4.55 钆（Gd） 418

4.56 铪（Hf） 420

4.57 钽（Ta） 425

4.58 钨（W） 426

4.59 铼（Re） 430

4.60 铱（Ir） 433

4.61 铂（Pt） 435

4.62 金（Au） 438

4.63 汞（Hg） 441

4.64 铊（Tl） 444

4.65 铅（Pb） 448

4.66 铋（Bi） 453

4.67 铀（U） 456

参考文献 461

附录 466

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