林少霖编2011 年出版382 页ISBN：9787811187731
本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习.....
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734
本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X
暂缺《半导体工艺》简介
（美）施敏，伍国珏著；耿莉，张瑞智译2008 年出版598 页ISBN：9787560525969
本书为微电子领域一本世界著名教材，已被译为6国文字，发行量逾百万册，该书为第3版，主要更新了最新的现代专题，例事和习题及习题指导。本书可供本科生、研究生以及从事微电子、半导体器件的工程技术人员使用。...
