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半导体工艺化学 工艺原理部分
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陈竹青编1983 年出版134 页ISBN：15212·84
半导体工艺手册
锦州晶体管厂情报资料室编1973 年出版162 页ISBN：
半导体工艺
中国人民解放军京字一八三部队编1972 年出版168 页ISBN：
半导体工艺原理
谢孟贤，刘国维编1980 年出版256 页ISBN：15034·1994
半导体工艺化学
韩爱珍主编1991 年出版246 页ISBN：7810233831
（美）K.A.杰克逊主编1999 年出版0 页ISBN：
半导体器件工艺
电子工业半导体专业工人技术教材编写组编1984 年出版568 页ISBN：15192·265
半导体工艺化学原理
乔冠儒编1979 年出版313 页ISBN：15196·022
半导体器件制造工艺
高廷仲编1982 年出版226 页ISBN：15212·69
半导体器件工艺原理
黄汉尧著1980 年出版302 页ISBN：15034·2059
