（美）杰克逊（Jackson，M.J.）编著2007 年出版699 页ISBN：703018243X
纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、...
王立鼎，刘冲，徐征编著2012 年出版208 页ISBN：9787118083590
本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS 理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波...
（美）斯蒂芬·A·坎贝尔著2011 年出版640 页ISBN：9787121134289
本书是《微电子制造科学原理与工程技术》的第三版。本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、...
（美）坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN：9787121118043
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126
随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
Micro-nano manufacturing technology of artificial bone = 人工骨微纳制造技术
Cijun Shuai2015 年出版350 页ISBN：7548719076
何丹农团队编著2018 年出版155 页ISBN：9787543976092
从国内外纳米科技发展现状和上海纳米科技发展必要性入手，详细解读了上海纳米科技未来发展战略，提出了上海纳米科技发展关键体系建设内容的建议，描绘了上海纳米科技发展战略实施蓝图。一方面，上海在纳米科技发展...
中国科学技术协会主编；中国机械工程学会编著2014 年出版257 页ISBN：9787504665560
本书介绍了机械工程（微纳制造和特种加工）学科发展情况，并对本学科的进展做了全面而准确的总结。学会对所负责的学科发展研究初稿进行研讨及学术交流后，为研究成果的最后完成提出实质性修改意见和建议。整套丛书...
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132
先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
