吴自勤，王兵，孙霞著2013 年出版357 页ISBN：9787030367310
本书由以下五部分（共15章）组成．1.界面相和表面结构（1～4章）；2.薄膜中的缺陷和扩散（5～7章）；3.薄膜的成核和长大理论（8～9章）；4.金属、半导体、氧化物薄膜的生长和薄膜中的分形现象（10～13章）；5.薄膜的制备和......
魏贤华著2012 年出版189 页ISBN：9787030338150
反射高能电子衍射作为一种新型的表面分析工具，是随着超高真空薄膜制备系统的发展与完善，而应用于薄膜生长中的测试分析中。本书基于表面物理与晶体衍射的原理，重点介绍了反射高能电子衍射的应用手段，包括其基本...
田民波，李正操编著2011 年出版532 页ISBN：9787302274834
本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。
田民波编著2006 年出版962 页ISBN：7302132380
本书内容包括真空技术部分、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析5大部分。
郑伟涛等编著2004 年出版313 页ISBN：7502549382
本书介绍了薄膜材料与薄膜技术的基本理论与知识，重点对材料的制备方法作了较为详细的阐述。
